2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

出展者一覧

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[M-6] 東ソー(株)

■新規に開発した低温(プロセス温度:100℃)低抵抗(200μΩcm)を実現可能なスパッタリングターゲットをご紹介します。

[SP-7] ハイソル(株)

■超音波映像装置 ■ロックイン発熱画像解装置 ■マニュアルプローバー ■高熱処理装置 ■4深針プローバー ■ボールボンダー、ダイボンダー、ウェッジボンダー ■はんだリフロー装置、他

[T-12] 伯東(株)

■<Pfeiffer Vacuum社製品> ・新型卓上型TMP排気ユニット Hicube ECO ・多段ルーツ型ドライポンプ ACP15 ・新型高圧縮比型ターボ分子ポンプ HiPace300H ・ヘリウムリークディテクタ ASM310 ・新型フルレンジゲージ PKR36xシリーズ ・ベンチトップオンラインガスモニター GSD320