[T-5] SPPテクノロジーズ(株)
■SPPテクノロジーズが取り扱っていますMEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、犠牲層エッチング装置、SiCエッチング装置や化合物/酸化膜エッチング装置、プラズマCVD装置、PVD装置、分子膜成膜装置(MVD)、熱処理装置、ミニマル装置など各種製造装置をご紹介します。
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■SPPテクノロジーズが取り扱っていますMEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、犠牲層エッチング装置、SiCエッチング装置や化合物/酸化膜エッチング装置、プラズマCVD装置、PVD装置、分子膜成膜装置(MVD)、熱処理装置、ミニマル装置など各種製造装置をご紹介します。
■Zurich Instruments社 デジタル600MHzロックインアンプ、任意波形ジェネレータ
■OceanOptics社小型分光 ■Labsphere社積分球・反射標準 ■NN-Labs社量子ドット ■Zarbeco社ハンドヘルドデジタル顕微鏡