[5a-A204-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

[5a-A204-11] [講演奨励賞受賞記念講演] 対向ターゲットスパッタ法によるi-a-Si:Hパッシベーション膜作製における基板温度の影響

〇白取 優大¹、ファリス アキラ¹、中田 和吉¹、宮島 晋介¹ (1.東工大工)

キーワード：結晶シリコン太陽電池、パッシベーション膜