[5a-A204-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

[5a-A204-2] 溌液るつぼを用いた大口径比のLCZ結晶成長

〇福田 哲生¹、堀岡 佑吉²、藤原 航三³、棚橋 克人¹、白澤 勝彦¹、高遠 秀尚¹ (1.産総研、2.FTB研、3.東北大学)

キーワード：シリコン、溌液るつぼ、大口径比

我々は溌液るつぼを用いたLCZ成長技術を改良し、るつぼ径に対して0.73倍程度の口径比を有する結晶の成長技術に取り組んでいる。口径比とは、るつぼ内径に対する成長結晶径の比で定義され、通常のCZ成長では0.3～0.5であるので、本方法の結晶成長を大口径比の結晶成長と呼ぶ。大口径比の結晶成長では、酸素の偏析が通常のCZ結晶より小さいことが見いだされている。