[5a-A413-1~10] 8.2 プラズマ診断・計測

[5a-A413-4] 酸素プラズマ中の解離度および電子温度空間分布の表面材料依存性

〇堤 隆嘉¹、Gibson Andrew²、O'Connell Deborah²、Gans Timo²、堀 勝¹ (1.名大、2.ヨーク大)

キーワード：プラズマ、電子温度、解離度