[5a-A413-1~10] 8.2 プラズマ診断・計測

[5a-A413-9] EUV光源用プラズマのための２次元空間トムソン散乱システムの構築

〇築山 晶一¹、深田 来夢¹、佐藤 祐太¹、富田 健太郎¹、内野 喜一郎¹、神家 幸一郎²、柳田 達也²、戸室 弘明²、和田 靖典²、國島 正人²、児玉 健²、溝口 計² (1.九大総理工、2.ギガフォトン(株）)

キーワード：プラズマ