[5a-A414-1~9] 3.8 光計測技術・機器

[5a-A414-8] VIPAを用いた光コム干渉シングルショット2次元断層計測へ向けた干渉次数判別法

〇國分 太志¹、塩田 達俊¹ (1.埼玉大院理工)

キーワード：VIPA、干渉次数、シングルショット

高速な次元非接触形状計測技術は産業や医療分野において非常に重要である。特に低コヒーレンス干渉による形状計測法は高分解能な深さ方向のイメージングとして知られている。我々は、周波数領域の断層計測法としてVIPAを用いた計測法を開発した。しかし、これらの方法は断層計測をするためには干渉次数の判別をする必要がある。そこで本研究ではVIPAの次数毎にCCDに投影されるレンジが違うことを利用して干渉次数の判別を行った。