[5a-C17-1~10] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[5a-C17-2] TiNを用いたGa₂O₃ショットキーバリアダイオードの電気特性

〇金子 喬¹、宗田 伊里也¹、星井 拓也¹、若林 整¹、筒井 一生²、岩井 洋²、角嶋 邦之¹ (1.東工大工学院、2.東工大研究院)

キーワード：Ga2O3、酸化ガリウム、ショットキーバリアダイオード