17:30 〜 17:45
[5p-A301-15] マクロステップ上に形成されたAlGaN 深紫外LED のEL特性(2)
キーワード:AlGaN、発光ダイオード、深紫外
m軸方向に1.0oオフ角を設けた(0001)平面サファイア基板上に1200-1300℃で連続成長される高密度のマクロステップ有するAlNテンプレート上のLED多層膜を最適化した。 AlGaN-深紫外(DUV)-LEDの電流注入発光(EL)半値幅と強度に正の相関関係が得られた。
一般セッション(口頭講演)
15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶
17:30 〜 17:45
キーワード:AlGaN、発光ダイオード、深紫外