[5p-A301-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[5p-A301-16] 高反射Ni/Au電極のNi膜厚最適化によるAlGaN深紫外LEDの外部量子効率9％動作

〇前田 哲利¹、定 昌史¹、鹿嶋 行雄^1,2、松浦 恵里子^1,2、高木 秀樹³、岩井 武⁴、森田 敏郎⁴、小久保 光典⁵、田代 貴晴⁵、上村 隆一郎⁶、長田 大和⁶、平山 秀樹¹ (1.理研、2.丸文、3.産総研、4.東京応化、5.東芝機械、6.アルバック)

キーワード：DUV AlGaN LED