[5p-A301-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[5p-A301-17] 高反射フォトニック結晶によるAlGaN深紫外LEDの外部量子効率10%動作

〇鹿嶋 行雄^1,2、前田 哲利¹、松浦 恵里子^1,2、定 昌史¹、岩井 武³、森田 敏郎³、小久保 光典⁴、田代 貴晴⁴、上村 隆一郎⁵、長田 大和⁵、高木 秀樹⁶、平山 秀樹¹ (1.理研、2.丸文、3.東京応化、4.東芝機械、5.アルバック、6.産総研)

キーワード：高反射型フォトニック結晶、光取出し効率、AlGaN系深紫外LED

AlGaN深紫外LEDの透明p-AlGaNコンタクト層に高反射型フォトニック結晶(HR-PhC)を、ナノインプリント及びICPドライエッチングでダメージレスに作成した。また、電極は斜め蒸着で作成した。HR-PhCの導入により、高反射率(75%)Ni/Mg電極蒸着では、外部量子効率(EQE)は7.5%から10%に増加した。