[5p-A401-1~8] 1.3 新技術・複合新領域

[5p-A401-3] MOD法によるTiドープしたV₂O₅薄膜の作製

〇ヴァンニュ ハイ¹、前田 幸平¹、河原 正美²、佐村 剛²、立木 隆¹、内田 貴司¹ (1.防衛大学校、2.高純度化学研究所)

キーワード：半導体、MOD法、バナジウム