[5p-A411-1~13] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[5p-A411-2] ミストCVD法によるサファイア基板上ZnSエピタキシャル層の結晶性向上

〇沖田 晃史¹、田之上 博信¹、後藤 太希¹、田中 雄大¹、永岡 昭二^3,4、谷田部 然治²、中村 有水^1,4 (1.熊大院自然科学、2.熊大先導機構、3.熊本産技、4.熊本有機薄膜)

キーワード：硫化亜鉛、ミストCVD、ZnS