[5p-A503-1~15] 9.4 熱電変換

[5p-A503-5] ナノドット含有Si薄膜の熱電特性に与える熱処理の影響

〇坂根 駿也¹、渡辺 健太郎^1,2、藤田 武志^2,3、Md. Mahfuz Alam⁴、澤野 憲太郎⁴、中村 芳明^1,2 (1.阪大院基礎工、2.CREST-JST、3.東北大、4.東京都市大学)

キーワード：ナノドット、シリコン、シリサイド