[5p-C22-1~9] 1.6 超音波

[5p-C22-4] 圧電素子柱アレイを用いた空中超音波探触子の開発

〇辻 俊宏¹、北原 大太朗¹、田中 康弘¹、小原 良和¹、三原 毅¹ (1.東北大学)

キーワード：空中超音波、ガスコンポジット振動子、ダイシング

空中超音波法では探触子の送信効率の向上が課題である。我々のグループではダイシングした圧電セラミックス素子柱アレイと空気の気相コンポジット振動子を用いる探触子を開発してきた。しかし、送信周波数を支配するメカニズムはまだ明らかではない。本研究では、ダイシング溝幅により周波数特性を制御できる可能性を見出した。