2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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[5p-PA1-1~82] 17 ナノカーボン(ポスター)

2017年9月5日(火) 13:30 〜 15:30 PA1 (国際センター1F)

13:30 〜 15:30

[5p-PA1-36] フッ素化アントラセントリマー前駆体を用いたボトムアップ・グラフェンナノリボン・トランジスタ

大伴 真名歩1,2、林 宏暢3、山口 淳一1,2、實宝 秀幸1,2、山田 容子3、佐藤 信太郎1,2 (1.富士通研、2.富士通、3.奈良先端大)

キーワード:グラフェン・ナノリボン、ボトムアップ

ボトムアップ合成したグラフェンナノリボン(GNR)のチャネル抵抗の低減を目的として、自己組織化を意識して設計したフッ素化アントラセントリマーを前駆体として用いた。前駆体がポリマー化した段階で、ポリマー同士が自己組織化して密にパッキングされ、リボン化後も高密度・高配向な局所構造が観測された。このGNRを絶縁体基板上に転写し、チャネル長20-30 nmのトランジスタ構造を作製したところ、P型の動作が確認された。