[5p-PA1-1~82] 17 ナノカーボン（ポスター）

[5p-PA1-57] TiN層導入による固相析出多層グラフェン膜の密着性改善

〇(M1C)横澤 孝典¹、上野 和良^1,2 (1.芝浦工大、2.SITグリーンイノベーション研究センター)

キーワード：多層グラフェン、配線、固相析出