2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

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17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[5p-PA1-1~82] 17 ナノカーボン(ポスター)

2017年9月5日(火) 13:30 〜 15:30 PA1 (国際センター1F)

13:30 〜 15:30

[5p-PA1-57] TiN層導入による固相析出多層グラフェン膜の密着性改善

〇(M1C)横澤 孝典1、上野 和良1,2 (1.芝浦工大、2.SITグリーンイノベーション研究センター)

キーワード:多層グラフェン、配線、固相析出