[5p-PA1-1~82] 17 Nanocarbon Technology（Poster）

[5p-PA1-79] Gas sensor application of atomic layer FET using layered chalcogenide materials (2)

〇Erina Ogihara¹, Nobuyuki Kawakami², Keiji Ueno¹ (1.Saitama Univ., 2.Kobe Steel, Ltd.)

Keywords:Transition Metal Dichalcogenide, Molybdenum Ditelluride, Gas Sensor

我々は前回，二テルル化モリブデン(MoTe₂)の電界効果トランジスタ(FET)が酸化性ガスである二酸化窒素(NO₂)に反応し，ガスセンサへの応用が可能であることを報告した。今回はそれに加えて，還元性ガスであるアンモニア(NH₃)への応答について報告する。p型動作を示すFETをNO₂に曝露するとドレイン電流値が増加し，NH₃に曝露すると減少した。これにより，MoTe₂ FETがそれぞれのガスに対するセンサとして機能することが確認された。