[5p-PA2-1~29] 12.1 Fabrications and Structure Controls

△ [5p-PA2-24] Preparation of organic-inorganic hybrid structure on atomically stepped polymer substrates

〇Ken Iwasa¹, Taichiro Kinoshita¹, Kisho Nakamura¹, Satoru Kaneko^2,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech. Materials, 2.KISTECH)

Keywords:thermal nanoimprint, polyimide, functional thin film

我々はこれまでに，単原子ステップを有するサファイアをモールドとした熱ナノインプリント法により，高さ約0.3 nmの周期的原子スケールステップ配列をポリマーシートに転写してきた。一方で，機能性無機薄膜をフレキシブル基板上に成長させることで，微細構造上の結晶成長や形状特性制御に関する知見が寄与できる。本研究では，ポリマー基板表面への機能性薄膜の成長，アニール処理によるナノ形状に与える影響について検討した。