[5p-PB1-1~13] 3.13 半導体光デバイス

[5p-PB1-4] テルル結晶核の成膜条件に依存した結晶セレン光電変換膜の結晶性および結晶配向性の評価

〇為村 成亨¹、峰尾 圭忠¹、宮川 和典¹、難波 正和¹、大竹 浩¹、久保田 節¹ (1.NHK技研)

キーワード：結晶セレン、光電変換膜、暗電流

光電変換膜を信号読み出し回路上に積層した高感度CMOSイメージセンサの研究開発を進めている。これまでに可視光領域に優れた吸収特性を示す結晶セレンを光電変換膜として用い、高画質な映像を取得できることを報告した。今回、素子の更なる高感度化に向けて、結晶セレン作製時に用いるテルル結晶核の成膜条件を制御することで、結晶セレン膜の結晶性および結晶配向性を大幅に改善することに成功したため報告する。