[5p-PB3-1~26] 16.3 シリコン系太陽電池

[5p-PB3-12] スピンコートアルミナ薄膜によるSi太陽電池裏面パッシベーション特性の評価

〇渡邊 良祐^1,2、小山 翼²、齋藤 洋司² (1.弘前大院理工、2.成蹊大院理工)

キーワード：パッシベーション、シリコン太陽電池、ゾルゲル法

良好な電界効果パッシベーションが期待できるアルミナパッシベーション膜をウェットプロセスにて作製し、その電気的特性を評価した。これまでに、600°C焼成試料ではキャリアライフタイムが大幅に増大することが分かった。今回は、ウェットプロセスにて作製した膜を結晶シリコン太陽電池の裏面パッシベーション膜として用い、太陽電池の特性に与える影響について評価し、また数値計算により求めた変換効率の結果との比較も行った。