[5p-PB3-1~26] 16.3 シリコン系太陽電池

[5p-PB3-13] 電界効果型太陽電池の簡易作製に関する研究

五十棲 一裕¹、小野 渚左¹、氷室 貴大¹、〇齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：テクスチャ、スピンコート

本研究では拡散工程を必要としないSi太陽電池として電界効果型太陽電池に着目した。しかし、電界効果型太陽電池には幅数nm程度の微細電極が必要とされ作製工程の複雑さが課題とされる。そこで、微細電極の簡易作製を試みた。その方法としてテクスチャ化Si(tex-Si)上にスピンコート法で成膜を行うと膜厚が不均一となる現象を利用した。