[5p-PB3-1~26] 16.3 シリコン系太陽電池

[5p-PB3-15] テクスチャ化単結晶シリコン基板上へのスピンコート法による酸化亜鉛反射防止膜の形成

近藤 颯平¹、氷室 貴大¹、〇齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：反射防止膜、スピンコート、テクスチャ

真空装置を用いず低コストかつ簡易に成膜できるスピンコート法による成膜を試みている。これまでTiO₂を使用していたが、テクスチャ化した基板に成膜した際、熱膨張係数の違いからひび割れが生じ、反射率低減が不十分であった。本研究ではシリコン基板と熱膨張係数の値が近いZnOを使用したところ、ひび割れせずに成膜できた。