[5p-PB3-1~26] 16.3 シリコン系太陽電池

[5p-PB3-16] スピンコート法で作製したアルミナ薄膜の表面パッシベーション効果

伊藤 瞭¹、松岡 聡¹、三澤 大希¹、〇渡邊 良祐²、齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工、2.弘前大院理工)

キーワード：シリコン太陽電池、表面パッシベーション、ゾルゲル法

これまで我々は、p 型Si 基板でのパッシベーション膜として期待されるアルミナ膜を、
より簡便なプロセスとして、ゾルゲル法により作製し評価を行ってきた。ゾルゲル法で
は、一般的に焼成処理が必要であるが、成膜条件によってアルミナ膜を作製してから時間
が経過すると少数キャリアライフタイムの低下が見られた。今回は焼成条件の検討を行い、
アルミナ膜を複数回スピンコートし、形成したところ、仮焼成温度によってこれまでより
も高いパッシベーション効果が得られた。今回は、この詳細について報告する。