[5p-PB3-1~26] 16.3 シリコン系太陽電池

[5p-PB3-9] p-μc-SiO_x:H/酸化物積層構造のパッシベーション効果と抵抗値評価

〇中田 和吉¹ (1.東工大 工学院)

キーワード：結晶シリコン、太陽電池、微結晶酸化シリコン

結晶シリコン太陽電池の低欠陥、低抵抗コンタクト構造の実現に向けて、結晶相とアモルファス相を有する微結晶酸化シリコンをドープ層に応用した。微結晶酸化シリコンを用いることにより低い抵抗値と高い実効ライフタイムを実現した。