[5p-PB7-1~8] 1.6 超音波

[5p-PB7-5] ScAlN薄膜/LiNbO₃基板における縦型リーキーSAW伝搬特性の理論解析

〇鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大学)

キーワード：弾性表面波、ScAlN