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[5p-PB7-6] 弾性表面波応答と逆問題解析を利用した液体の物性値推定法の改善
キーワード:弾性表面波
横波型弾性表面波(SH-SAW)を用いると液相系センサが実現できる.SH-SAWセンサ応答評価には数値解析や摂動法が利用されている.数値解析ではSAWの速度や損失を求める.摂動法では速度変化や減衰変化と物性値の関係式が導出されるので,測定で得られた速度変化や減衰変化から物性値を求められる.しかし,摂動法は近似法なので,求めた結果は必ずしも文献値と一致しない.本稿では,逆問題解析を用いた推定法の改善について報告する.