[5p-S22-5~14] 8.6 プラズマライフサイエンス

△ [5p-S22-14] マイクロ波駆動誘導結合型原子源が生成する水素ラジカル温度

〇(M2)島袋 祐次¹、髙橋 秀典²、和田 元¹ (1.同志社大学、2.島津製作所)

キーワード：質量分析、原子ビーム、マイクロ波