[5p-S41-1~20] 7.2 電子ビーム応用

[5p-S41-10] 電子ビーム照射付近から遠方で正帯電を引き起こすフレア電子について

〇西村 将太¹、河本 拓也¹、小寺 正敏¹ (1.大阪工大工)

キーワード：走査電子顕微鏡

走査電子顕微鏡は観察・分析・評価装置として現在の科学技術分野で必要不可欠であるが、試料の導電率が低い場合には電子ビーム(EB)照射によって帯電現象が起こり安定した観察や分析が不可能となる。我々は試料の帯電現象を定量化するために表面電位を測定する技術として静電気力顕微鏡システムを開発し、走査電子顕微鏡試料室内に設置してEB照射後の絶縁物試料表面の電位分布を測定している。