[5p-S41-1~20] 7.2 電子ビーム応用

[5p-S41-3] HSAを用いたREELSによる化合物Liのスペクトル評価およびArスパッタの影響

〇田口 昇¹、田中 章泰²、吉田 の実²、堤 建一²、前田 泰¹、田中 真悟¹ (1.産総研電池技術、2.日本電子(株))

キーワード：電子エネルギー損失分光、電子顕微鏡、リチウム