[5p-S41-1~20] 7.2 Applications and technologies of electron beams

△ [5p-S41-8] Measurement of the flare electron current distribution in scanning electron microscope

〇Yoshifumi Hagiwara¹, Kentaro Morimoto¹, Yuka Ito¹, Masatoshi Kotera¹ (1.Osaka Tech.)

Keywords:scanning electron microscope, electron beam, fogging electron

従来から電子ビーム照射による局所的な試料内部の散乱や試料表面から放出された電子が試料室内で多重散乱することによって作られるフォギング電子については議論されてきたが、対物レンズより以前の光学系で生成されたと思われる電子が電子ビーム照射点から数cmも離れた部分に広がっていることについては、ほとんど議論されてこなかった。このような電子を我々はフレア電子と呼び、この影響を実験的に解析している。