[5p-S42-1~15] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [5p-S42-1] 同期走査投影露光と化学エッチングによる医療用ステントの製作

〇伊藤 海樹¹、鈴木 佑汰¹、堀内 敏行¹ (1.電機大院工)

キーワード：リソグラフィ、パイプ、ステント

先行研究により直径2mmのステンレス管表面に走査投影露光装置を用いて線幅250µmの網目レジストパターンを形成し、化学エッチングをすることで線幅230μmの網目マイクロ部品を製作できることを示した^。本研究では、ステントへの応用を目標に線幅を110μmに細くし、径方向に伸縮可能な形状の部品を製作した。