[5p-S42-1~15] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [5p-S42-3] Evaluation of Triblock Copolymer Structure using Soft X-Ray Scattering

〇(M2)Yusuke Nakatani¹, Tetsuo Harada¹, Atsushi Takano², Motoyuki Yamada¹, Takeo Watanabe¹ (1.Univ. of Hyogo, 2.Nagoya Univ.)

Keywords:DSA, Soft X-Ray Scattering, Block Copolymer

硬X線散乱測定は、物質の構造を定量的に評価できる方法として広く用いられている。しかし、トリブロックポリマーなど3種類以上のポリマーが混在すると、平均化された構造が観察され、個々のポリマー構造を評価することは困難である。そこで我々は、軟X線散乱測定法を開発した。ポリマー材料の軟X線吸収スペクトルは、炭素吸収端近傍のエネルギーで大きく変化するため、散乱プロファイルから個々のポリマーの構造を評価できる。