[5p-S44-1~10] 【CS.9】7.1 X線技術と7.4 量子ビーム界面構造計測のコードシェアセッション

[5p-S44-2] 電界電子放出を用いた電子源の開発

〇(M2)道上 僚太¹、大山 健¹、浜垣 秀樹²、清山 浩司¹、荻野 雅紀¹、元田 良一³、越牟田 聡³ (1.長総大工、2.新創研、3.サイエナジー)

キーワード：電子源、Ｘ線、電界電子放出

本研究は電界電子放出を用いた電子発生部の開発を目標としている。電界電子放出とは導体表面に強い電界を加えることにより電子を外部に放出する現象である。強い電界を作るための構造として針状導体を採用した。針状導体は高密度集積回路製造技術を用いて形成する。これによりコンパクトで低コスト、長寿命で高速スイッチング可能な面電子源の実現が期待される。