[6a-A202-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [6a-A202-5] イオン液体／単結晶ZnO界面の電気化学特性

〇金井 茉莉子¹、丸山 伸伍¹、松本 祐司¹ (1.東北大院工)

キーワード：単結晶ZnO、イオン液体、電気化学

ZnOは，低誘電率のn型半導体材料として，電気二重層トランジスタ等のデバイスへの応用が期待されており，半導体とイオン液体(IL)界面の電気化学特性を評価し，界面でのキャリア状態を解明することは重要である．本研究では，ZnO単結晶を用いて，ILとの界面の電気化学特性を真空一貫で調べた結果を報告する．