[6a-A202-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [6a-A202-8] 原子間力顕微鏡を用いたSrFeO₃のトポタクティック局所還元反応

〇田中 駿也¹、沓澤 大¹、廣瀬 靖¹、長谷川 哲也¹ (1.東大院理)

キーワード：ナノリソグラフィー、原子間力顕微鏡、SrFeO3-x

原子間力顕微鏡(AFM)のチップ先端に発生する液柱での電気化学的な局所酸化還元は、様々な物質の表面微細加工に応用されている。本研究ではトポタクティックな酸化還元に伴い、構造・物性が変化するSrFeO_3-xに注目した。SrFeO₃は単純ペロブスカイト構造の金属だが、SrFeO_2.5はブラウンミレライト構造の絶縁体である。AFMによりSrFeO₃薄膜の表面を局所的に還元した。EBSD、EDX、導電性AFMの結果は局所還元がトポタクティックに進んだ事を強く示唆している。