[6a-A204-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[6a-A204-5] ラインレーザーを用いた液相結晶化シリコン薄膜の形成と評価：レーザースキャン速度依存性

〇海汐 寛史^1,2、松井 卓矢¹、齋 均¹、櫻井 岳暁²、松原 浩司¹ (1.産総研、2.筑波大)

キーワード：薄膜シリコン太陽電池、液相結晶化、結晶シリコン薄膜

結晶シリコン太陽電池の材料コスト低減のため、アモルファスシリコン膜に対し高強度でライン状のレーザーを照射・掃引することにより瞬間溶融・固化し、高品質の薄膜多結晶シリコンを作製する液相結晶化法（Liquid Phase Crystallization：LPC）が提案されている。現状、レーザーの照射条件の変化に対する多結晶シリコンの膜特性の変化に関してはほとんど報告されていないため、ラインレーザーの掃引速度が多結晶シリコンの膜質に与える影響を調査した。