[6a-A301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [6a-A301-8] エッチピットを用いた HVPE-AlN 基板の貫通転位評価

〇樋口 真里¹、三井 太朗¹、永島 徹²、山本 玲緒^1,2、小西 敬太¹、Galia Pozina³、Rafael Dalmau⁴、Raoul Schlesser⁴、Ramón Collazo⁵、Bo Monemar^3,6、Zlatko Sitar⁵、熊谷 義直^1,6 (1.東京農工大院工、2.トクヤマ、3.リンチョーピン大、4.HexaTech, Inc.、5.ノースカロライナ州立大、6.東京農工大 GIR)

キーワード：ハイドライド気相成長、窒化アルミニウム、エッチピット