[6a-A412-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[6a-A412-3] 高プラズマパワー密度CVDによる高配向・高生成NVアンサンブルの高速合成

〇辻 赳行¹、矢板 潤也¹、小澤 勇斗¹、岩崎 孝之¹、波多野 睦子¹ (1.東工大)

キーワード：ダイヤモンド