[6a-A413-1~10] 12.1 作製・構造制御

[6a-A413-4] 交流電気泳動着法を用いたCuPcナノ粒子コロイドの成膜

〇可藤 青里¹、全 現九¹、植田 和樹¹、清水 純¹、井堀 春生¹、藤井 雅治¹ (1.愛媛大工)

キーワード：交流電気泳動着法、コロイド、ウェットプロセス

有機薄膜素子の開発において、高い性能を示す半導体材料を溶液プロセスにより低コストで作製することが求められている。現在、難溶性有機半導体をコロイド化することでウェットプロセスを用いた素子作製が可能であることが報告されている。しかし、報告されたドロップキャスト法では均一な成膜および膜厚の制御が困難であった。本発表では、有機ナノ粒子コロイドの均一な成膜法として交流電気泳動着法を検討した結果を報告する。