[6a-A414-1~10] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[6a-A414-5] Increasing automatic birefringence measurement speed using digitalphase meter

〇Hirokazu Ishida¹, Yuu Morimoto¹, Masami Shibata¹, Mitsuo Tsukiji¹, Hiroyuki Kowa¹, Wataru Kokuyama², Hideaki Nozato², Koichiro Hattori² (1.UNIOPT CO.,Ltd, 2.AIST)

Keywords:birefringence, phase meter

ガラスの残留歪み等を測定する複屈折計測装置は、ガラスの薄肉化・連続生産化が進み、更なる高速化が求められている。本講演では、高速化のボトルネックとなっていたアナログ位相計に代わって産総研が開発した新型デジタル位相計を搭載し、更に光学系・駆動系の刷新により、0.1 nm以下の測定再現性を維持しながら約20 msec.という高速計測を実現した結果を発表する。