[6a-A414-1~10] 3.8 光計測技術・機器

[6a-A414-5] デジタル位相計を用いた自動複屈折測定の高速化

〇石田 拓運¹、守本 雄¹、柴田 昌巳¹、築地 光雄¹、高和 宏行¹、穀山 渉²、野里 英明²、服部 浩一郎² (1.ユニオプト株式会社、2.産業技術総合研究所)

キーワード：複屈折、位相計

ガラスの残留歪み等を測定する複屈折計測装置は、ガラスの薄肉化・連続生産化が進み、更なる高速化が求められている。本講演では、高速化のボトルネックとなっていたアナログ位相計に代わって産総研が開発した新型デジタル位相計を搭載し、更に光学系・駆動系の刷新により、0.1 nm以下の測定再現性を維持しながら約20 msec.という高速計測を実現した結果を発表する。