[6a-A503-1~13] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[6a-A503-12] CZ炉内のCO濃度

〇宮村 佳児¹、原田 博文¹、中野 智¹、柿本 浩一¹ (1.九大応力研)

キーワード：シリコン、CZ、炭素