[6a-C13-1~12] 3.15 シリコンフォトニクス

[6a-C13-7] 多層光回路に向けた曲線テーパ型層間結合器の設計

伊東 憲人¹、〇西山 伸彦^1,2、林 侑介¹、鈴木 純一¹、雨宮 智宏^1,2、荒井 滋久^1,2 (1.東工大電気電子系、2.東工大科学技術創成研究院)

キーワード：シリコンフォトニクス、多層光回路、層間結合器

本発表では、シリコンフォトニクスの層間結合器として曲線テーパー構造を導入したデザインについて提案する。今回、テーパに連続的な曲線を用い、素子長をさらに半分程度の100 ミクロン以下にできることを明らかにしたので、ご報告する。