12:15 PM - 12:30 PM
[6a-C14-13] Comparison of results of numerical analysis and experiment of thermal resistance of VCSELs considering thin-layer thermal conductivity reduction effect
Keywords:semiconductor laser, vcsel, optical wireless power transmission
光無線給電には，VCSELの高効率・高出力密度化が重要である．これにはデバイス熱抵抗の高精度設計が必要である．熱抵抗は形状と材料熱伝導率から解析できるが，数10 nm厚程度以下の薄膜の熱伝導率は，バルク値の1/2-1/3程度に低下すると報告されている．前回，VCSELの論文事例構造の数値解析から薄膜効果が熱抵抗に大きく影響する可能性を示した．今回，デバイスを製作することで詳細な構造を基に数値解析を行い実験値との比較を行った．