[6a-C19-1~9] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

△ [6a-C19-9] レーザ走査によるカーボンナノチューブ直描技術

〇山田 研太郎¹、中積 誠¹、大舘 暁¹、岩堀 恒一郎¹ (1.株式会社ニコン)

キーワード：カーボンナノチューブ、デバイス製造プロセス、CNT-TFT