[6a-C22-1~11] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[6a-C22-4] Thermal Conductivity and Specific Heat Measuremaents Utilizing Suspended Metal Wire Resistor

〇(M1)Ko Akiba¹, Hiroaki Satoh^1,2, Hiroshi Inokawa^1,2 (1.GSIST Shizuoka Univ., 2.RIE Shizuoka Univ.)

Keywords:thermal conductivity, specific heat

ボロメータや熱電発電素子などの熱を利用したデバイスの動作解析においては、熱伝導率や比熱などの熱的なパラメータを知ることは極めて重要である。本報告では、空中に浮いた金属細線抵抗の直流抵抗・電流特性と交流電流に対して生じる電圧の周波数特性から、これらのパラメータを測定する方法を提案し、Siに適用した例を紹介する。