[6a-C22-1~11] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[6a-C22-4] 空中に浮いた金属細線抵抗を用いた熱伝導率及び比熱の測定

〇(M1)秋葉 孔¹、佐藤 弘明^1,2、猪川 洋^1,2 (1.静岡大院総合科技、2.静岡大電子研)

キーワード：熱伝導率、比熱

ボロメータや熱電発電素子などの熱を利用したデバイスの動作解析においては、熱伝導率や比熱などの熱的なパラメータを知ることは極めて重要である。本報告では、空中に浮いた金属細線抵抗の直流抵抗・電流特性と交流電流に対して生じる電圧の周波数特性から、これらのパラメータを測定する方法を提案し、Siに適用した例を紹介する。