[6a-PA1-1~25] 1.2 Education

[6a-PA1-15] Implementation of a Schottky barrier diode fabrication experiment for semiconductor education

Toshinori Eko¹, 〇Atsushi Utsumi¹ (1.NIT, Maizuru College)

Keywords:semiconductor device

半導体デバイスの特性は，材料，形状，周囲温度などによって変化する．これらを理解するためには，学生自身がデバイスを作製し，測定を行う実験実習が有効であると考えられる．これまでに，我々は短時間でかつ低コストで作製できる学生実験用ショットキーバリヤダイオードを開発しており，今回は学生実験に導入した結果について報告する．