[6a-PA5-1~2] 7.1 X線技術

[6a-PA5-1] 広帯域多層膜回折格子によるテンダーＸ線平面結像型分光器

〇今園 孝志¹ (1.量研関西研)

キーワード：多層膜回折格子、テンダーＸ線、X線発光分光

1～3.5 keV領域を広帯域にカバーする非周期Ni/C多層膜回折格子を搭載したテンダーX線平面結像型分光器を開発した。Ag、Pt、SUS304、ITO等からの特性X線を計測した結果、その分解能は市販のエネルギー分散型検出器より数倍程度高いことが示された。